第28章 華虹流片的首次亮紅燈 （1/4）

華虹流片的首次亮紅燈

#### 第二十九章：華虹流片的首次亮紅燈

上海金橋，華虹半導體工廠。

江知夏站在潔淨室的更衣區，看着鏡子裏那個把自己裹得像個“大白”一樣的身影，深吸了一口氣。

這是他第一次走進真正的晶圓廠。

空氣中瀰漫着一種特殊的化學味道，那是超純水和光刻膠混合的氣息。對於普通人來說，這味道可能刺鼻，但對於江知夏來說，這是夢想的味道。

“江工，請進。”

負責對接的工藝工程師是一位三十多歲的女性，姓林，大家都叫她林工。她走路帶風，手裏拿着一個平板電腦，眼神裏透着一股職業的精明。

“我們的8英寸線雖然不如12英寸先進，但也是千級潔淨度。”林工一邊走一邊介紹，“這裏的每一分鐘都是錢。你的光刻版我們已經檢查過了，說實話，設計得很……‘大膽’。”

“大膽？”江知夏心裏咯噔一下。

“對。”林工停下腳步，指着走廊盡頭的一臺巨大的光刻機，“你用的那個微透鏡結構，直接借用了MEMS工藝的灰度光刻方案。這在理論上是通的，但在我們這條在線，從來沒這麼玩過。”

“林工，這個結構是爲了實現端面耦合，必須得有曲率。”江知夏解釋道，“如果不能用灰度光刻，我就得做多步刻蝕，那樣成本會翻倍。”

“我知道。”林工嘆了口氣，“所以我才說大膽。爲了支持你們華爲的項目，我特意申請了工程批（Engineering Run）。但是，江工，醜話說在前面，如果跑不通，這幾十萬的掩膜費和晶圓錢，可是要打水漂的。”

江知夏握緊了拳頭：“我相信我的仿真數據。”

“仿真數據是理想世界，這裏是現實世界。”林工指了指那臺光刻機，“機器可不聽你的麥克斯韋方程組。”

接下來的48小時，是漫長的等待。

江知夏和陳默被安排在一間辦公室裏，通過實時監控屏幕看着晶圓在產在線流轉。

塗膠、曝光、顯影、刻蝕……

每一個步驟，都像是一場審判。

“第一道光刻完成了。”林工走進辦公室，臉色不太好看，“顯影后的形貌看起來還行，但是……”

“但是甚麼？”

“側壁有點粗糙。”林工把顯微鏡照片投屏到電腦上，“你看這裏，微透鏡的表面出現了鋸齒。這會導致光散射，耦合效率會大打折扣。”

江知夏湊近屏幕，眉頭緊鎖。

確實，原本應該光滑如鏡的曲面，現在看起來像是一座崎嶇的山脈。

“這是光刻膠的回流溫度不夠。”江知夏迅速分析，“林工，能不能提高回流溫度？讓光刻膠融化得更充分一點，利用表面張力把鋸齒拉平。”

“提高溫度？”林工皺起眉頭，“現在的溫度已經是140度了。如果再高，光刻膠可能會分解，甚至把底下的硅層燒壞。”

“那就試試150度。”江知夏堅持道，“我的光刻膠型號是AZ系列的，它的玻璃化轉變溫度正好在145度左右。現在的溫度還沒到臨界點。”

林工看着他，猶豫了一下，拿起電話：“去工藝控制室，把回流焊溫度調到150度，再跑一片。”

等待的時間格外漫長。

江知夏盯着屏幕，手心全是汗。

他知道，這不僅是技術的博弈，更是經驗的較量。他在書本上學到的知識，正在接受工業界最嚴酷的檢驗。

兩小時後，結果出來了。

林工看着新的顯微鏡照片，臉色更加難看了。

“江工，你看。”

屏幕上，微透鏡不僅沒有變平滑，反而塌陷了。原本完美的弧形，變成了一灘扁平的“大餅”。